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真空泵抽不到极限真空度的原因

   当该故障发生时，应当首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，应当打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

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直联旋片真空泵的噪音

　　(1)真空泵旋片弹簧折断，可调换弹簧。

　　(2)真空泵的有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。

　　(3)真空泵的轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。

　　(4)真空泵的电机出毛病，应进行检查。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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高真空机组

①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组：无污染。

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常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

Pfeiffer普发TMH1001P分子泵维修,Pfeiffer TMH1001P普发涡轮分子泵进气法兰口DN200 ISO-K，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到920 L/s，转速为26400 rpm -39600rpm，极限压力1X10-8 mbar，对应的控制器为：Pfeiffer TC600等

在某些快速循环的系统中，也没有足够的时间，使涡轮分子泵在每一个循环周期内，由于时间短来不及达到正常的运转速度。在这种情况下，就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。此时涡轮分子泵就不得不连续的运转，前级泵粗抽真空室，很快就能达到涡轮分子泵的启动压力，就可以很快打开主阀，涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作(节约了时间)也可使粗抽管道返流降到*低程度。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

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